Glossary

BSE Backscattered Electrons (Rückstreu-Elektronen) – mit diesen wird ein grauskaliertes, relieffreies Bild aufgenommen
CL Cathodoluminescence (Kathonden-Lumineszenz)
EDS Energie Dispersives Spektrometer – mittels eines Halbleiter-Detektors. Früher mussten diese mit Stickstoff gekühlt werden, heutige, z.B. Si-Driftdetektoren brauchen das nicht mehr.
EPMA Electron Probe Micro-Analszer (Elektronenstrahl-Mikrosonde)
Faraday-Cup Zum Delektieren des Probenstroms (-> PCD) und/oder unterbrechen des Elektronenstrahls
OM/OML Optical-Microscopy Lamp
PAP Eine Rechenvorschrift zur Korrektur der gemessenen Counts eine Elements, die von der Zusammensetzung (= Matrix) der Probe abhängt. Diese spezielle Korrektur wurde von J. L. Pouchou & F. Pichoir entwickelt. Die beiden haben darüber mehrere Artikel geschrieben, z.B.: [https://link.springer.com/chapter/10.1007%2F978-1-4899-2617-3_4 Pouchou, J.L. & Pichoir, F (1991)]
PCD Probe Current Detector (= Faraday Cup) – Zum Delektieren des Probenstroms (-> PCD) und/oder unterbrechen des Elektronenstrahls
PHA Pulse Hight Analysis
REM Raster-Elektronenmikroskop (im Englischen SEM für Scanning Electron Microscope)
SCA Single Channel Analyser
SE Secondary Electrons (Sekundär-Elektronen) – mit diesen wird grauskaliertes Bild aufgenommen, auf dem 3D Strukturen sehr gut erkennbar sind.
SEM für Scanning Electron Microscope (deutsch: REM für Raster-Elektronenmikroskop)
WDS Wellenlängen Dispersives Spektrometer – mittels Analysator-Kristallen wird über die Bragg-Reflexion nur eine Wellenlänge reflektiert und anschließend im Detektor gezählt.
ZAF Eine Rechenvorschrift zur Korrektur der gemessenen Counts eine Elements, die von der Zusammensetzung (= Matrix) der Probe abhängt: Z: Ordnungszahl der Elemente in der Probe, A: Absorption in der Probe, F: Fluoreszenz in der Probe.